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阿斯麥公司產(chǎn)品服務(wù)

時(shí)間：2022-02-17 01:38:01 | 來源：信息時(shí)代

時(shí)間：2022-02-17 01:38:01 來源：信息時(shí)代

ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機(jī)及相關(guān)服務(wù)，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生產(chǎn)效率最高，應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機(jī)型。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商，都向ASML采購TWINSCAN機(jī)型，例如英特爾（Intel），三星（Samsung），海力士（Hynix），臺積電（TSMC），中芯國際（SMIC）等。

ASML的產(chǎn)品線分為PAS系列，AT系列，XT系列和NXT系列，其中PAS系列光源為高壓汞燈光源，現(xiàn)已停產(chǎn)，AT系列屬于老型號，多數(shù)已經(jīng)停產(chǎn)。市場上主力機(jī)種是XT系列以及NXT系列，為ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的機(jī)型，分為干式和沉浸式兩種，而NXT系列則是現(xiàn)在主推的高端機(jī)型，全部為沉浸式。

目前已經(jīng)商用的最先進(jìn)機(jī)型是TwinscanNXT1950i，屬于沉浸式光刻機(jī)，用來生產(chǎn)關(guān)鍵尺度低于38納米的集成電路。

ASML正在加緊研制基于極紫外（EUV）光源的新型光刻機(jī)，型號定為NXE系列。如果量產(chǎn)成功，將成為劃時(shí)代的產(chǎn)品，有望將關(guān)鍵尺寸縮小至10nm以下，并且可以顯著提高集成電路質(zhì)量。

關(guān)鍵詞：產(chǎn)品,服務(wù)

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