阿斯麥公司Cymer
時間：2022-02-17 02:40:02 | 來源：信息時代
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ASML于2012年10月宣布收購Cymer公司，以加快EUV的研發(fā)進度。Cymer公司是世界領(lǐng)先的準分子激光源提供商，發(fā)明了如今半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的光刻技術(shù)所需的深紫外（DUV）光源。產(chǎn)品主要特性是：帶寬窄，運行速度高，可靠性強。Cymer光源在批量生產(chǎn)符合特定規(guī)格的的世上最先進的半導(dǎo)體芯片時起著決定性的作用。
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