時間：2023-04-25 07:27:02 | 來源：營銷百科
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實時反饋控制：圖3FIB-CVD實時反饋控制的系統(tǒng)示意圖。通過使用測量精度達(dá)0.01 pA的超精密電流計測器(美國Keithley公司制，型號6514)實時監(jiān)測試樣臺的電流。實時(周期約為344 ms)獲取電流計測器上的電流數(shù)據(jù)，以此判斷懸臂結(jié)構(gòu)的實時側(cè)向生長角度。如果生長角度偏離水平方向時，相應(yīng)地增加或減少FIB的劑量直至側(cè)向生長角度回到水平方向。根據(jù)所要制備的懸臂式納米線結(jié)構(gòu)和納米塊結(jié)構(gòu)，分別使用常見的兩種FIB掃描方式，即模擬式掃描和離散式掃描。分別通過控制FIB掃描速度和單點照射時間來實時控制FIB的劑量。關(guān)鍵詞：控制,反饋
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